Метод вакуумного напыленияЭто относится к окислению восстановленного ТЮ2, однако ВаТЮ3, по-видимому, не образуется до температур 1000-1100° С, когда начинается реакция. Выше этой температуры состав, по-видимому, остается тем же самым и решающим фактором, определяющим свойства пленки, является величина зерен кристалликов ВаТЮ3.

Пленка, как указывает рентгеновская диффракция, состоит главным образом из ВаТЮ3 со следами и ТЮ2. Как было отмечено, величина зерен зависит от температуры спекания. Возрастание величины зерна с увеличением температуры характерно вообще для тонких пленок.

Пленки, спеченные при 1300° С, являются слишком пористыми, вследствие наличия крупных кристалликов.

Оптимальной температурой является 1200° С. Величина зерен колеблется примерно от 1000 до 5000 А. Толщина пленки определяется по весу, принимая плотность равной 5,5. Усовершенствованный вариант этого метода предложен Водопьяновым и Коробовым. По этому методу в вакуумной установке укрепляется воронка, дном которой служит мелкая сетка (10-16 тыс. ячеек на 1 см2). В воронку засыпается предварительно просеянный порошок, предназначенный для испарения.

Для испарения порошка включалось устройство, приводящее воронку в вибрационное движение и просеиваемый порошок попадает на нагретый до нужной температуры испаритель. При таком способе подачи порошка время его взаимодействия с материалом испарителя сводится до минимума.

Учитывая, что основной причиной отклонения от стехиометрии является потеря двуокисью титана некоторой доли кислорода в процессе напыления, около подложки осуществляется локальная подача кислорода.

Читайте так же:

Комментарии запрещены.