Показания давленияДля современной техники характерен процесс уменьшения веса и габаритов аппаратуры при одновременном повышении надежности и увеличении срока ее службы. Значительное место в этом процессе занимает использование различных материалов в виде пленок, позволяющих создать принципиально новые конструкции аппаратуры.

В частности, применение сегнетоэлектрических и пьезоэлектрических материалов в виде пленок позволяют при малых размерах получать запоминающие устройства большой емкости для электронных машин, малогабаритные нелинейные устройства сверхвысокой частоты (СВЧ), высокочастотные преобразователи ультразвука, конденсаторы и ряд других изделий. Многие из этих элементов являются основой некоторых современных машин и механизмов и начинают широко применяться в специальных областях машиностроения.

Тонкие пленки сегнетоэлектрических и пьезоэлектрических материалов имеют явные преимущества в эксплуатации по сравнению с объемными материалами, так как они требуют весьма малый вольтаж для поляризации и легче рассеивают тепло, тем самым устраняют влияние термического гистерезиса и повышают стабильность. Получение тонкопленочных материалов сегнето — и пьезоэлектриков, имеющих как моно-, так и поликристаллический характер, особенно важно при разработке и изготовлении элементов схем микроминиатюризации.

В настоящее время известно несколько методов получения тонких пленок из керамических сегнетоэлектрических материалов, однако ни один из них не может быть рекомендован как универсальный, так как каждый может использоваться для получения пленок определенных толщин. По существу каждый метод какой-то мере дополняет друг друга и позволяет получать пленки различной толщины.

Рассмотрим подробнее каждый из указанных методов.

Читайте так же:

Комментарии запрещены.