Плазменное распыление порошковУстойчивые огнеупорные, воздухонепроницаемые пленки с высокой диэлектрической постоянной могут быть получены при непрерывном плазменном напылении порошков ВаТЮ3 или SrTi03 на металлы, графит, керамику и стекло. Порошкообразный ВаТЮ3 — 85% частиц которого имеют средний диаметр 15 мк, распылялся с помощью плазменной горелки со скоростью 20 г/мин на металлическую поверхность. Поверхность предварительно нагревалась до температуры 600° С и при проведении процесса поддерживалась температура около 700° С. Покрытие имело толщину в пределах 76-500 мк. Диэлектрическая проницаемость пленки е 530 при комнатной температуре.

Этот метод может применяться для производства конденсаторов.

Метод вакуумного напыления пленок сегнетоэлектриков имеет несколько вариантов. Однако общие положения для всех вариантов одинаковы.

Пленки титаната бария от 0,1 до 2 мк могут быть получены путем испарения в вакууме при давлении 5-105 мм рт. ст. и при температуре на испарителе около 2200° С, с последующим осаждением на холодную или подогреваемую подложку из платины. Согл асно Фельдману ВаТЮ3 измельчается в очень тонкий порошок, смешивается со спиртом до образования пасты и наносится ровным слоем на вольфрамовую проволоку, имеющую диаметр около 1,4 мм, с которой осуществлялось испарение.

Нить накала нагревается током, примерно в 100 а. При спекании на воздухе цвет пленки переходит в белый при относительно низких температурах (несколько сот градусов).

Читайте так же:

Комментарии запрещены.