Изготовление высокочастотных пьезополупроводниковых преобразователейПолучение монокристаллов сульфида кадмия двух типов (высокоомных и низкоомных) — это два самостоятельных процесса, каждый из которых обладает определенными технологическими особенностями. В настоящее время сульфид кадмия получается двумя путями: выращиванием из паровой фазы и из расплава под давлением инертного газа.

В первом случае получаются нефоточувствительные высокоомные кристаллы (они непригодны для целей усиления ультразвука).

Во втором случае в зависимости от технологии процесса получаются либо низкоомные, либо высокоомные кристаллы.

Для получения высокоомных кристаллов в процессе роста из расплавов добавляются соответствующие акцепторные примеси. При этом получаются высокоомные однородные монокристаллы CdS. Необходимые для создания пьезопреобразователей низкоомные монокристаллы сульфида кадмия могут быть получены двумя путями.

1. Диффузионным легированием высокоомных кристаллов норными примесями, для чего необходим длительный отжиг кристаллов в атмосфере легирующих добавок (хлор, йод) при температуре 600-700° С. Недостатком данного способа является то, что при этом кристалл легируется на небольшую глубину 1 — 3 мм, причем концентрация легирующей добавки уменьшается от поверхности в глубину кристалла.

Это приводит к неравномерному распределению проводимости по длине кристалла. 2. Легированием кристаллов в процессе их роста из расплава, для чего в исходное сырье либо в аппаратуру добавляются легирующие добавки.

Такая технология, не усложняя процесса выращивания, позволяет получить низкоомные, однородные по электрическому сопротивлению кристаллы непосредственно при их росте.

Читайте так же:

Комментарии запрещены.